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2023-01-31
美國又加大圍剿力度，中國光刻機何時突圍？
更新時間：2023-01-29 19:53:46作者：智慧百科
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來源：財通社綜合（ 半導(dǎo)體工藝與設(shè)備、 后視鏡里de未來 ）
數(shù)年前，鐵幕橫亙在東、西方之間?，F(xiàn)在，硅幕（Silicon Curtain）正在落下。
國產(chǎn)半導(dǎo)體工業(yè)可以說已到了危及存亡之刻，該如何突圍？一位從業(yè)20年的半導(dǎo)體老兵講出了他說看見的行業(yè)實情及思考。
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美國全力圍剿中國光刻機
2023年1月28日，諸多企業(yè)開工大吉的喜悅被攪黃了。美國、荷蘭與日本在經(jīng)過數(shù)月的談判后，最終就共同限制向中國出口半導(dǎo)體設(shè)備達成共識，它們將聯(lián)手阻止中國獲取發(fā)展先進芯片、量子計算、人工智能等所需的技術(shù)。
在繼續(xù)禁絕向中國企業(yè)出售EUV光刻機的基礎(chǔ)上，新的聯(lián)盟擴大了管制范圍。媒體援引消息人士的話稱，中國發(fā)展先進半導(dǎo)體所需的技術(shù)和設(shè)備，都會被加入到禁售清單中，其中就包括DUV浸潤式光刻機。
荷蘭阿斯麥（ASML）、日本尼康（Nikon）和東京威力科創(chuàng)（TEL）等半導(dǎo)體設(shè)備巨頭的對華出口，將被迫執(zhí)行新的標(biāo)準(zhǔn)。
自2022年10月發(fā)布《針對先進計算和半導(dǎo)體制造的管制措施》后，美國就積極地游說日本、歐洲等盟友，聯(lián)手從設(shè)備、技術(shù)、人才等環(huán)節(jié)，對中國進行全面封堵。新聯(lián)盟形成后，美國的管制措施有可能會變成整個聯(lián)盟的法則。
按照三方會談透露出來的內(nèi)容，日本、荷蘭各自在國內(nèi)完成立法后，新的協(xié)議才會生效，這可能需要幾個月的時間。歐盟官員對這次的談判結(jié)果給予了支持。中國專家言之鑿鑿三國不會結(jié)盟的說法，還可以成立一段時間。
鑒于此事可能產(chǎn)生的后果，即便協(xié)議生效后，各方也不會公布管制措施的內(nèi)容，其重心將落在具體的執(zhí)行層面。日本政府有官員預(yù)言，這樣的合作百分之百會遭到報復(fù)，在當(dāng)?shù)亟?jīng)營的日本企業(yè)會因此遭受沖擊。
中國半導(dǎo)體供應(yīng)的現(xiàn)實擊穿了曾經(jīng)的虛幻，這讓中國智能汽車的發(fā)展面臨新的選擇。在智能化的道路上，自動駕駛的前景會變得越來越暗淡。眾多的中國自動駕駛企業(yè)及其整車制造商，即便有能力設(shè)計出高端芯片，他們卻繞不開制造環(huán)節(jié)的短板。中國大陸的代工廠不具備臺積電的能力，無法制造出先進制程的芯片。能為這些企業(yè)代工的臺積電、三星等受制于美國的管制措施，會變得更謹(jǐn)慎。壁仞科技的遭遇，是事情的一個側(cè)面。
隨著時間的推移，英偉達A100等算力芯片的停供已經(jīng)進入倒計時。雖然英偉達推出了A800作為替代品，但無法滿足自動駕駛進階的需求。進入到L4級自動駕駛后，中國市場的算力芯片需求與供應(yīng)會出現(xiàn)明顯的脫節(jié)。中國本土的算力芯片制造商，在美國的管制措施解除之前，可以施展的空間已經(jīng)非常有限。對于中國自動駕駛而言，L2及L2+級已經(jīng)是最現(xiàn)實的市場了。
中國自動駕駛所面臨的局面，只是各方圍剿中國半導(dǎo)體的一個小縮影。數(shù)年前，鐵幕橫亙在東、西方之間?，F(xiàn)在，硅幕（Silicon Curtain）正在落下。
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我國光刻機發(fā)展的怎么樣了？
光刻機一直是半導(dǎo)體工業(yè)皇冠上的明珠，如今成為美國圍剿中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的殺手锏。
在此之前，一位20年半導(dǎo)體老兵就就很驚醒地指出，荷蘭與米國這場光刻機的談判，將是國內(nèi)芯片行業(yè)生與死的分水嶺?？赡艽蠹叶紱]意識到這次談判的嚴(yán)重性。
以美bis新規(guī)定來看，涉及finfet也就是16nm以下工藝的全部禁止對中銷售，工藝能達到7nm的浸沒式duv肯定是不能賣給中，所以asml自己的預(yù)估浸沒式duv的高低標(biāo)的銷量區(qū)別不大，這也肯定不是美荷談判重點。
這次美荷談判的重點就是193nm ArF dry 光刻機，如果這類型設(shè)備也不能賣，對asml來說那差距將達到一百臺，40億美金左右的銷售額。
能賣給中，2025年該設(shè)備能賣290臺，如果被限制那就是低標(biāo)只能賣給非中客戶190臺，這就是這一次美荷談判的重點。我們要知道這類型光刻機對應(yīng)的工藝是65～110nm。
美國想游說盟友，禁止中國110nm以下的所有工藝，而荷蘭則希望從45nm開始限制即可，而這對國內(nèi)芯片產(chǎn)業(yè)的影響也是至關(guān)重要的，28～110幾乎是國內(nèi)芯片制造需求最大的一個工藝范圍。如果荷蘭同意斷供干式duv那對國內(nèi)芯片行業(yè)來說將是毀滅性的打擊。
當(dāng)然荷蘭如果被米國拿下，日本的nikon勢必也是比照辦理，而這只能靜待結(jié)果了。
1月29日消息，昨日外媒報道稱，美國拜登政府在當(dāng)?shù)貢r間本周五于華盛頓結(jié)束的談判中，已經(jīng)成功與荷蘭和日本達成協(xié)議，將限制對華出口先進的芯片制造設(shè)備，其中就包括ASML Holding NV、Nikon Corp.和Tokyo Electron Ltd.等廠商的產(chǎn)品。
如果荷蘭與日本最終同意斷供193nm ArF干式duv光刻機，那我們該怎么辦，國產(chǎn)光刻機現(xiàn)在到底如何了？
10月7號，米國BIS的制裁新規(guī)下來以后，行業(yè)至今雞飛狗跳，全面亂套，不過這也是一面照妖鏡，退潮時就能知道誰在裸泳。這幾年資本市場大炒特炒的國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備商們，檢驗?zāi)銈冋嬲碌臅r刻到了。
在半導(dǎo)體老兵看來，國產(chǎn)光刻機的現(xiàn)狀如同被一塊遮羞布罩著，真實情況觸目驚心。
目前國產(chǎn)光刻機的相關(guān)訊息都是對米國單向透明的。我們國產(chǎn)光刻機里面的零配件大部分都得進口，這些零配件同樣以美日為主。
幾年前smee那臺號稱90nm的ssx600通過02專項驗收合格，然后這一大幫人歡欣鼓舞媒體大書特書，緊接著這群人立馬訂定下一個更先進的目標(biāo)，甚至一次跨越兩代，直接攻關(guān)193nmArF準(zhǔn)分子激光浸潤式光刻機，02專項風(fēng)風(fēng)火火大躍進攻關(guān)，形勢一片大好。
然而事實是那臺ssx600，也就是248nmKrF光刻機（工藝是在0.13um以上）風(fēng)風(fēng)火火的把所有utility接上，除了認(rèn)證那會開機跑了起來，至始至終躺在那。
這通過驗收的所謂光刻機根本無法在量產(chǎn)線上跑，也從來沒有跑過！而你們現(xiàn)在正大躍進式的想攻克下兩代193nm ArFi 也就是媒體所謂的28nm光刻機，這不是天大的笑話嗎？130nm都沒正兒八經(jīng)的跑過產(chǎn)線，130nm你都做不明白，竟然妄想去搞28nm？其實193nm ArFi搞出來是能做到7nm的。
一個令人痛心的現(xiàn)象是，半導(dǎo)體設(shè)備設(shè)備真正在生產(chǎn)線跑，是全世界無數(shù)頂尖工程師，數(shù)十年不斷優(yōu)化來的，而我們一臺設(shè)備驗收了，就再也沒人管。
除了光刻機外，etch蝕刻設(shè)備、沉積與光刻并列門檻最高、金額最高、難度最大的的三個種類，一般來說蝕刻設(shè)備都是fab投資最大的，工藝在5nm以下的fab，因為都是使用euv，光刻才超越了蝕刻。
而且蝕刻在memory占有越來越重要的角色，尤其是在nand，越高層數(shù)就需要寬深比越高的蝕刻技術(shù)，這完全得仰賴設(shè)備廠家。目前做到最好的是lam能在100:1以上，amat也有同性能產(chǎn)品，國內(nèi)的中微號稱今年能有40:：1的高寬深比的設(shè)備，但這設(shè)備，可以肯定出來是能出來，但沒法用。
某廠etch設(shè)備 list
從上圖我們可以看出，dry etch 分為icp、ccp，這兩小類，每類又分了十多種設(shè)備，咱們可以從圖中看到中微在某fab的ccp拿下了1/3，但在icp則全軍覆沒。
ccp只是刻掩膜跟metal，與icp那些刻在si上的完全是兩碼事，也就是說即便中微什么成功打入臺積電7nm的fab也只是做最簡單的那一部分。
而我們從圖中可以看出，dry etch門檻最高的各種icp，中微一臺也沒有，幾乎被lam給壟斷，amat跟tel這世界etch的老二跟老三也只有稀稀拉拉幾臺，而中微連他的強項ccp也只是占1/3，而且還都是ccp里面最容易的那部分。
半導(dǎo)體老兵以此推算中微打通drt etch全部環(huán)節(jié)，能生產(chǎn)出合格良率的28nm芯片，最快最快是6年。
試問2030年全世界都生產(chǎn)14nm了，我們還在生產(chǎn)28nm，要這玩意有多大作用？真實的情況跟大家想的或者主管行業(yè)那幫人說的根本不一樣。
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中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)該怎么辦？
現(xiàn)在如此危機之時，中國半導(dǎo)體行業(yè)不能再這樣下去，首先必須要把問題全部掀開來，盡管滿目瘡痍，瘡疤都沒怕疼而沒勇氣去揭，那如何治療？
從14年大基金成立以來，我們一直高喊的國產(chǎn)，取代外企，解決卡脖子問題，快十年了，真正解決的卡脖子問題有幾個？行業(yè)里整天好消息滿天飛，飛了快十年了，市場一片期待，所有人信心滿滿，連小將們都高喊你米國越制裁越好，我們只會更快造出來，我們不需要任何協(xié)助，自己的全國產(chǎn)設(shè)備很快就能橫空出世。
而今這些設(shè)備在哪呢？真實的情況是，此時此刻，我們芯片生產(chǎn)線的國產(chǎn)化率只有可憐的15%左右，今時今日。
想在五六年完全補齊剩下的85%，從任何角度來看都是不切實際，違反科學(xué)及常識的。
現(xiàn)在我們的芯片產(chǎn)業(yè)已經(jīng)退無可退，當(dāng)務(wù)之急，就是在量產(chǎn)的fab里，所有設(shè)備back to back的調(diào)適，真正調(diào)適出一條完整實實在在的《量產(chǎn)線》，不是以前那種實驗線，更不是一堆設(shè)備商各自為政，上下道工藝根本接不上，各說各話的吹牛皮。
對于目前到中國半導(dǎo)體行業(yè)，半導(dǎo)體老兵以為，之前的積極進取有作用，但韜光養(yǎng)晦亦有大用，任何事并不是只有進攻，啥時候進攻啥時候防守，攻防有序才是正道。