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因一筆僅10萬(wàn)元的股票交易，號(hào)稱“中國(guó)光刻機(jī)第一股”的合肥芯碁微電子裝備股份有限公司（簡(jiǎn)稱“芯碁微裝“），陷入了價(jià)值爭(zhēng)議。

6月6日晚間，芯碁微裝就股東違規(guī)減持發(fā)布公告稱，公司第三大股東蘇州中和春生三號(hào)投資中心（簡(jiǎn)稱“蘇州春生”）在公司未發(fā)布減持計(jì)劃情況下于6月6日因工作人員誤操作，通過(guò)集中競(jìng)價(jià)方式賣出其持有的公司股份2000股，成交均價(jià)53.46元/股，成交金額10.69萬(wàn)元，違反了相關(guān)法律、法規(guī)。

盡管蘇州春生僅套現(xiàn)10多萬(wàn)元，金額上并不算高，但芯碁微裝“工作人員誤操作”還是惹惱了部分投資者。

有投資者直接向董秘發(fā)問(wèn)，“違法減持，踐踏法律法規(guī)，說(shuō)一下道歉就有用，為什么要法律呢？應(yīng)該上繳違規(guī)減持的款項(xiàng)，并且罰款。”

圖/視覺(jué)中國(guó)

芯碁微裝由于是國(guó)內(nèi)少數(shù)在光刻技術(shù)領(lǐng)域里擁有關(guān)鍵核心技術(shù)，而被部分媒體冠以“光刻機(jī)第一股”的稱號(hào)，其主要從事以微納直寫(xiě)光刻為技術(shù)核心的直接成像設(shè)備及直寫(xiě)光刻設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售以及相應(yīng)的維保服務(wù)，主要產(chǎn)品及服務(wù)包括PCB直接成像設(shè)備及自動(dòng)線系統(tǒng)、泛半導(dǎo)體直寫(xiě)光刻設(shè)備及自動(dòng)線系統(tǒng)、其他激光直接成像設(shè)備等。

但外界一直困惑：芯碁微裝技術(shù)到底如何？真如外界解讀的那樣具備很高的技術(shù)壁壘嗎？與我們通常所說(shuō)制造芯片的投影式光刻機(jī)到底有怎樣的差距？

“PCB的激光直寫(xiě)式和先進(jìn)投影曝光式光刻機(jī)根本不處在一個(gè)等量級(jí)，沒(méi)有辦法做對(duì)比。”半導(dǎo)體行業(yè)人士陳啟對(duì)《財(cái)經(jīng)天下》周刊表示，技術(shù)限制、產(chǎn)能、效率、 分辨率以及復(fù)雜圖形形成都遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于大規(guī)模投影式光刻機(jī)，PCB領(lǐng)域的激光直寫(xiě)式實(shí)際上是一項(xiàng)相對(duì)落后的技術(shù)路線。

“舉一個(gè)簡(jiǎn)單的例子，尼康20年前生產(chǎn)的投影式光刻機(jī)S204 現(xiàn)在二手貨都要賣100多萬(wàn)美元，目前較先進(jìn)的直寫(xiě)式光刻機(jī)來(lái)看，尼康的Mask writer 也要賣上千萬(wàn)美元一臺(tái)，對(duì)比之下，芯碁微裝營(yíng)收也僅有幾億元，技術(shù)差距可想而知。”陳啟說(shuō)。

財(cái)經(jīng)評(píng)論員王赤坤也向《財(cái)經(jīng)天下》周刊表示，泛半導(dǎo)體領(lǐng)域的光刻技術(shù)有多種解決方案和技術(shù)應(yīng)用路線，就不同光刻技術(shù)路線看，芯碁微裝的直寫(xiě)光刻技術(shù)精度及產(chǎn)能效率較低，落后掩膜光刻技術(shù)；泛半導(dǎo)體領(lǐng)域采用直寫(xiě)光刻技術(shù)路線的較少，市場(chǎng)規(guī)模較小，遠(yuǎn)不如其他技術(shù)路線。

就技術(shù)路線相關(guān)問(wèn)題，《財(cái)經(jīng)天下》周刊致電芯碁微裝董秘辦，對(duì)于業(yè)內(nèi)人士提及的技術(shù)路線落后，相關(guān)負(fù)責(zé)人予以否認(rèn)，并強(qiáng)調(diào)，芯碁微裝在國(guó)內(nèi)處于領(lǐng)先地位。

圖/視覺(jué)中國(guó)

光刻龍頭實(shí)力如何？

成立于2015年的芯碁微裝，于2021年4月1日正式登陸科創(chuàng)板，被稱為“國(guó)產(chǎn)光刻設(shè)備第一股”，首次公開(kāi)發(fā)行A股約3220萬(wàn)股，發(fā)行價(jià)每股15.23元，此后股價(jià)便一路上漲，直到去年12月6日，股價(jià)到達(dá)最高峰，每股接近百元，一時(shí)間風(fēng)光無(wú)兩。

此后，芯碁微裝便從高點(diǎn)滑落，截至6月10日，芯碁微裝股價(jià)為51.77元，總市值62.5億元，較高點(diǎn)近乎腰斬。

光刻機(jī)是制造芯片的關(guān)鍵前道設(shè)備之一，迄今為止，世界上能自主研發(fā)和制造光刻機(jī)的廠商依然屈指可數(shù)，國(guó)內(nèi)廠商更是少見(jiàn)。光刻機(jī)供應(yīng)緊張，但它又是制造芯片不可或缺的設(shè)備，因此極大程度上限制了半導(dǎo)體產(chǎn)能。

頭頂光刻機(jī)賽道光環(huán)，又號(hào)稱“立志成為國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)世界品牌”的芯碁微裝，光鮮靚麗外表下實(shí)則技術(shù)護(hù)城河并不牢固，芯碁微裝光刻技術(shù)主要集中在技術(shù)難度較低的微米級(jí)PCB（印刷電路板）領(lǐng)域。

”此‘光刻’非彼‘光刻’。“亞禾資本合伙人徐振群向《財(cái)經(jīng)天下》周刊介紹，“直寫(xiě)光刻機(jī)，與我們?nèi)粘Ｋ劶暗腁SML、“卡脖子”的光刻機(jī)并不同，是應(yīng)用在低世代制程的無(wú)掩模光刻技術(shù)，全稱為“激光直接成像”，即Laser Direct Imaging，業(yè)內(nèi)經(jīng)常稱為L(zhǎng)DI光刻。

據(jù)了解，直寫(xiě)光刻機(jī)目前主要應(yīng)用在PCB領(lǐng)域中的FPD低世代線的制造、中低端IC掩膜版制版及IC前道制造中的小批量、多批次的器件研發(fā)試制領(lǐng)域。而制造手機(jī)芯片的芯片用光刻機(jī)為極紫外投影光刻機(jī)，這類光刻機(jī)技術(shù)工藝和材料難度極高，國(guó)內(nèi)廠商基本上望塵莫及。

“我們舉個(gè)例子，如果說(shuō)“卡脖子”的光刻機(jī)制程精度在20nm（納米）以下的話，那么LDI光刻機(jī)制程則普遍在100nm-200nm甚至以上，而慣用的精度更是在μm（微米）級(jí)別了?！毙煺袢赫f(shuō)，作為替代傳統(tǒng)底片曝光的技術(shù)，LDI技術(shù)有著效率更高、精度更高、良率更高的優(yōu)勢(shì)。但是，LDI光刻與國(guó)際先進(jìn)的IC光刻并不具備可比性，可以講完全是兩個(gè)物種。

在芯片領(lǐng)域，有人將微米與納米的差距，比喻為太陽(yáng)與月亮的距離。芯碁微裝盡管號(hào)稱在光刻技術(shù)領(lǐng)域里擁有關(guān)鍵核心技術(shù)，但直寫(xiě)光刻的技術(shù)難度并沒(méi)有想象那么高，且有很多廠商入局這一賽道。

徐振群進(jìn)一步向《財(cái)經(jīng)天下》周刊解釋稱，直寫(xiě)光刻技術(shù)是相對(duì)比較成熟的，由于市場(chǎng)成熟度的原因，業(yè)內(nèi)廠商普遍規(guī)模不大。近幾年，在半導(dǎo)體行業(yè)國(guó)產(chǎn)設(shè)備化率逐步提升、科創(chuàng)板注冊(cè)制的大背景下，若干LDI企業(yè)逐步走進(jìn)了大眾的視野。除了芯碁微裝，較為知名的LDI企業(yè)還有影速、源卓、新諾等，這幾家企業(yè)有的是大院大所的成果轉(zhuǎn)化，有的是資本力量整合，技術(shù)和市場(chǎng)方面各有優(yōu)勢(shì)。

從技術(shù)沉淀角度來(lái)看，國(guó)內(nèi)最先進(jìn)國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)的整機(jī)集成商上海微電子，僅突破了90nm光刻機(jī)技術(shù)，花了足足20年時(shí)間，而國(guó)際巨頭荷蘭ASML（阿斯麥）早在上世紀(jì)60年代和70年代就著手研發(fā)，經(jīng)過(guò)半個(gè)多世紀(jì)的技術(shù)積累才締造“光刻巨人”神話，芯碁微裝短短不到7年時(shí)間，要成為國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)世界品牌道阻且長(zhǎng)。

“芯碁微裝的技術(shù)水平和上海微電子相比，大概差十萬(wàn)八千里?！卑雽?dǎo)體行業(yè)人士陳啟對(duì)《財(cái)經(jīng)天下》周刊說(shuō)，目前國(guó)內(nèi)真正擁有高端光刻機(jī)技術(shù)的應(yīng)該是長(zhǎng)光所、成光所這兩家光學(xué)研究所，以及02專項(xiàng)下各個(gè)子項(xiàng)目和公司，例如負(fù)責(zé)物鏡系統(tǒng)的國(guó)望光學(xué)，負(fù)責(zé)準(zhǔn)分子激光光源的科益虹源，負(fù)責(zé)半導(dǎo)體光刻機(jī)總集成的上海微電子等。

即便是“第一股”，芯碁微裝的技術(shù)實(shí)力和綜合競(jìng)爭(zhēng)力，在國(guó)內(nèi)也并不算領(lǐng)先。

“PCB 直接成像設(shè)備部分核心技術(shù)需要時(shí)間積累和經(jīng)驗(yàn)沉淀，與同行業(yè)國(guó)際廠商（以色列Orbotech、日本 ORC、日本 ADTEC 等）相比，芯碁微裝的產(chǎn)品技術(shù)水平和業(yè)務(wù)規(guī)模還存在較大差距?！蓖醭嗬?duì)《財(cái)經(jīng)天下》周刊表示，PCB及泛半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)品更新?lián)Q代速度快，產(chǎn)品的迭代周期一般約為2年。未來(lái)如果芯碁微裝不能較快持續(xù)推出具有競(jìng)爭(zhēng)力的新產(chǎn)品，將會(huì)丟失市場(chǎng)。

圖/視覺(jué)中國(guó)

“光刻機(jī)第一股”熱衷理財(cái)

芯碁微裝在雖然技術(shù)水平上飽受爭(zhēng)議，不可否認(rèn)的是，其業(yè)績(jī)?cè)诮陙?lái)是突飛猛進(jìn)，從2018年的營(yíng)收不足億元到2021年的近5億元，增長(zhǎng)速度并不差。

芯碁微裝2021年報(bào)顯示，公司營(yíng)業(yè)收入 4.92億元，同比增長(zhǎng) 58.74%，凈利潤(rùn) 1.06億元，同比增長(zhǎng) 49.44%。營(yíng)收凈利的增長(zhǎng)其解釋為，泛半導(dǎo)體、PCB 等產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域持續(xù)保持穩(wěn)定快速增長(zhǎng)，牽引公司直寫(xiě)光刻設(shè)備、直接成像設(shè)備及自動(dòng)線設(shè)備銷量增加。

陳啟認(rèn)為，目前從目前芯碁微裝的市占率，出貨量來(lái)看算是國(guó)內(nèi)同行領(lǐng)先企業(yè)。由于中國(guó)是PCB生產(chǎn)大國(guó)，這些年包括芯碁微裝，江蘇影速在內(nèi)的公司發(fā)展較快，導(dǎo)致國(guó)外公司在國(guó)內(nèi)的市場(chǎng)份額被逐漸擠占。但是從后面的技術(shù)進(jìn)化角度而言，高端PCB會(huì)逐漸技術(shù)IC化，使用類似集成電路的光刻-刻蝕的圖形化方案。

值得一提的是，自稱“技術(shù)至上”的光刻機(jī)領(lǐng)域，芯碁微裝卻熱衷于投資理財(cái)產(chǎn)品，研發(fā)費(fèi)用卻少的可憐。

《財(cái)經(jīng)天下》周刊查詢芯碁微裝年報(bào)發(fā)現(xiàn)，2019年-2021年，其投資活動(dòng)產(chǎn)生的現(xiàn)金流量?jī)纛~分別為-9169萬(wàn)元、5576萬(wàn)元和-3.387億元，財(cái)務(wù)上存在較大“窟窿”。其在2021年年報(bào)中解釋稱，首發(fā)上市募集資金到位，購(gòu)買理財(cái)產(chǎn)品。

與此同時(shí)，2021年，芯碁微裝交易性金融資產(chǎn)為2.36億元，同比大增914.32%，占總資產(chǎn)的比例為18.75%。相比之下，研發(fā)費(fèi)用僅有5000多萬(wàn)元。

另外，芯碁微裝經(jīng)營(yíng)性現(xiàn)金流遠(yuǎn)不及凈利潤(rùn)，2019年-2021年，凈利潤(rùn)分別為4763萬(wàn)元、7104萬(wàn)元、1.062億元。但芯碁微裝的經(jīng)營(yíng)活動(dòng)現(xiàn)金流量?jī)纛~持續(xù)為負(fù)且并無(wú)好轉(zhuǎn)。2019-2021年，芯碁微裝經(jīng)營(yíng)活動(dòng)產(chǎn)生的現(xiàn)金流量?jī)纛~分別為-1588萬(wàn)元、-5971萬(wàn)元、-3022萬(wàn)元。

無(wú)論財(cái)務(wù)狀況如何，對(duì)于科創(chuàng)板公司而言，科研水平高低才是決定其未來(lái)能否持續(xù)成長(zhǎng)的關(guān)鍵，然而很多業(yè)內(nèi)人士并不看好芯碁微裝的發(fā)展。

“以芯碁微裝為代表的直寫(xiě)式光刻技術(shù)，屬于小眾市場(chǎng)，不否認(rèn)其存在價(jià)值，但是似乎也沒(méi)看到有波瀾壯闊的發(fā)展前景?！标悊⒈硎?，隨著Chiplett(芯粒)興起，2.5D/3D等先進(jìn)封裝技術(shù)大行其道，更多的芯片不在單獨(dú)封裝后裝到PCB板上，而是直接封到一起，這一定程度上而言對(duì)于PCB并不是一個(gè)好消息，當(dāng)然PCB也是能維持現(xiàn)在的體量，短期內(nèi)不會(huì)被淘汰。

在王赤坤看來(lái)，芯碁微裝的直寫(xiě)光刻技術(shù)不但面臨著同技術(shù)路線下的激烈的競(jìng)爭(zhēng)，還面臨和其他解決方案和技術(shù)應(yīng)用路線競(jìng)爭(zhēng)；芯碁微裝直寫(xiě)光刻設(shè)具體技術(shù)為激光直寫(xiě)光刻，不但產(chǎn)能效率低、設(shè)備成本高，客戶群和市場(chǎng)規(guī)模也較小，落后帶電粒子直寫(xiě)光刻等技術(shù)。如果這客戶群體減少相關(guān)預(yù)算或采用其他技術(shù)路線產(chǎn)品，芯碁微裝的市場(chǎng)空間將會(huì)進(jìn)一步被壓縮。

曾深陷專利糾紛

芯碁微裝的實(shí)際科研能力到底水平怎樣，從專利數(shù)量上可以窺測(cè)一二。年報(bào)顯示，截至 2021 年末，公司累計(jì)獲得知識(shí)產(chǎn)權(quán) 120 項(xiàng)，其中發(fā)明專利 41 項(xiàng)，實(shí)用新型 61 項(xiàng)，外觀專利 4 項(xiàng)，軟件著作權(quán) 14 項(xiàng)。

該公司曾與合肥芯碩半導(dǎo)體有限公司（簡(jiǎn)稱“合肥芯碩”）之間發(fā)生了專利糾紛案。事實(shí)上，合肥芯碩與芯碁微裝有很深的淵源。招股書(shū)披露，芯碁微裝的諸多核心成員原先就任職于合肥芯碩。

其中，芯碁微裝的董事長(zhǎng)、實(shí)控人程卓，2015年曾參與合肥芯碩重整事宜，被當(dāng)時(shí)的合肥芯碩股東會(huì)選為董事長(zhǎng)；芯碁微裝現(xiàn)總經(jīng)理方林，曾是合肥芯碩的技術(shù)骨干，擔(dān)任過(guò)合肥芯碩的研發(fā)部總監(jiān)、技術(shù)部副總。

圖/芯碁微裝年報(bào)

程卓并不簡(jiǎn)單，技校畢業(yè)竟能執(zhí)掌一家科技公司。根據(jù)年報(bào)披露的信息顯示，她于 1981 年 9 月至 1984 年 6 月就讀于安徽省大江技校機(jī)械專業(yè)，1982 年 9 月至 1985 年 8 月就讀于安徽電大漢語(yǔ)言文學(xué)專業(yè)，2011 年 7 月至 2019 年 10 月，擔(dān)任安徽盛佳奔富商貿(mào)有限責(zé)任公司法定代表人、執(zhí)行董事；2016 年 3 月至 2019 年 10 月，擔(dān)任芯碁有限董事長(zhǎng)；2019 年 10 月至今，擔(dān)任公司董事長(zhǎng)。

以程卓為首核心骨干出走合肥芯碩后，成立了芯碁微裝，迅速崛起的芯碁微裝一度威脅到“老東家”的地位。為此，合肥芯碩曾以侵犯專利為由，將芯碁微裝告上法庭。

2017 年 4 月和9 月，合肥芯碩以侵害其專利權(quán)為由分別對(duì)公司核心技術(shù)人員方林、何少鋒提起訴訟，安徽省合肥市中級(jí)人民法院均判決駁回合肥芯碩的訴訟請(qǐng)求。2018 年 5 月，合肥芯碩以侵害其專利權(quán)為由對(duì)公司提起訴訟，安徽省合肥市中級(jí)人民法院判決駁回合肥芯碩的訴訟請(qǐng)求，2019 年 1 月，合肥芯碩提起上訴，安徽省高級(jí)人民法院終審判決駁回合肥芯碩的訴訟請(qǐng)求。

從上述判決結(jié)果來(lái)看，合肥芯碩最終敗訴，其上訴行為卻突然在2019年12月畫(huà)上了句號(hào)。據(jù)裁判文書(shū)網(wǎng)披露的信息顯示，2019年1月之后合肥芯碩曾不服安徽省高級(jí)人民法院的判決，向最高人民法院申請(qǐng)?jiān)賹彛趯彶檫^(guò)程中，合肥芯碩卻在2019年12月12日突然書(shū)面提出撤回再審申請(qǐng)。

陳啟表示，芯碁微裝與合肥芯碩有多年的知識(shí)產(chǎn)權(quán)糾紛，雖然最后前者贏了官司，但是卻不能證明其掌握了關(guān)鍵核心技術(shù)。

芯碁微裝成立6年便登陸資本市場(chǎng)，盡管營(yíng)收狀況持續(xù)向好，但在技術(shù)為王的光刻機(jī)領(lǐng)域，芯碁微裝的競(jìng)爭(zhēng)力能保持多久，還存在疑問(wèn)。

撰文 / 歐陽(yáng)靖宇

編輯 / 冒詩(shī)陽(yáng)